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能造EUV光刻机的欧洲：第一次有了自己的EUV生产线！

发布于：2023-09-29 作者：凹凸曼 阅读：89

EUV极紫外光刻机虽然出自欧洲的荷兰，但是欧洲一直没有自己的EUV生产线，直到现在。

能造EUV光刻机的欧洲：第一次有了自己的EUV生产线！

当地时间9月29日，位于爱尔兰莱克斯利普(Lexilip)附近的Intel Fab 34晶圆厂，正式开始使用EVU光刻工艺大规模量产生产Intel 4工艺的Meteor Lake处理器，也就是酷睿Ultra。

Intel CEO帕特·基辛格、技术开发总经理Ann Kelleher博士、首席全球运营官Keyvan Esfarjani将参加开工仪式。

这是美国本土俄勒冈州Fab D1之后，Intel第二座量产Intel 4 EUV工艺的晶圆厂，也是欧洲第一次有了自己的EUV生产线。

Intel使用了所谓的“Copy Exactly!”(精准复制)，将美国工厂的生产线百分百复刻到爱尔兰工厂，以提高良率、保证性能一致性。

Intel 4工艺也就是曾经的7nm，号称相比Intel 7(10nm ESF)在同等功耗下频率提升21.5％，同等频率下功耗降低40％，晶体管密度增加1倍，这其中很大的功劳都来自EUV。


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